双腔型（MNT-D系列）

发布时间：2021-07-08浏览次数：次

反应腔体	喷淋模式的双腔反应腔
衬底规格	4-8寸单片三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-500^oC，控制精度±0.5 ^oC@双腔
阀门	Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 ^oC
前驱体源	液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制最高可配备8路前驱体源
载气	N₂或者Ar，质量流量控制器
管路源容器加热温度	配可拆卸加热套，RT-250 ^oC，控制精度±0.5 ^oC
真空系统	油泵、防腐油泵、干泵可选
压力传感器	检测范围1000-2.3*10^-4 Torr
真空管路	烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃
控制	触摸屏+PLC
机柜	可移动铝型材框架，不锈钢面板最大尺寸：100015001800 mm
选配	臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置